Dispersionsgesteuertes, interferometrisches Messverfahren zur in-line Charakterisierung von Wafertopografien (eRamp)
04/2014 - 03/2017
Prof. Dr. Peter Hartmann (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)
WHZ-Forschungsprojekt
Prof. Dr. Peter Hartmann
+49 (375) 536 1538
peter.hartmannfh-zwickaude
BMBF