Dispersionsgesteuertes, interferometrisches Messverfahren zur in-line Charakterisierung von Wafertopografien (eRamp)

Über uns

Die Forschung an der Westsächsischen Hochschule Zwickau betrachten wir als eine Kernaufgabe mit langjähriger Tradition. In enger Verflechtung von Lehre, Ausbildungsprofil und angewandter Forschung verfolgt die Hochschule das Ziel, Lehre und Studium ständig mit einer hohen Praxisnähe weiterzuentwickeln und modernste Erkenntnisse aus Forschung und Entwicklung einfließen zu lassen.

Als eine der forschungsstärksten Fachhochschulen Deutschlands streben wir gemeinsam mit unseren Praxispartnern nach wissenschaftlichen Innovationen und anwendungsbereiten Forschungsergebnissen sowie der gezielten Weiterentwicklung des Wissens- und Technologietransfers.