WHZ-HTZ-DRIE - Reaktives Ionen-Tiefenätzen für Mikro-, Nano- und Sensortechnologie
10/2025 - 12/2027
Prof. Dr. Robert Täschner (Fakultät Elektrotechnik)
WHZ-Forschungsprojekt
Prof. Dr. Robert Täschner
+49 (375) 536 1434
robert.taeschnerwhzde
SMWK/SAB-EFRE
EFRE InfraProNet 2021-2027
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