WHZ-HTZ-DRIE - Reaktives Ionen-Tiefenätzen für Mikro-, Nano- und Sensortechnologie

Projektlaufzeit:

10/2025 - 12/2027

Projektleitung (Organisationseinheit):

Prof. Dr. Robert Täschner (Fakultät Elektrotechnik)

Projekttyp:

WHZ-Forschungsprojekt

Kontakt:

Prof. Dr. Robert Täschner

+49 (375) 536 1434
robert.taeschnerwhzde

Fördermittelgeber:

SMWK/SAB-EFRE

Förderprogramm:

EFRE InfraProNet 2021-2027

Förderkennzeichen:

100753070

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Anhang

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