Entwicklung und Charakterisierung eines HSQ-UV-Phtotoresist; Charakterisierung von HSQ-UV-Photoresist

Charakterisierung von HSQ-UV-Photoresist

Projektlaufzeit:

07/2026 - 06/2028

Projektleitung (Organisationseinheit):

Prof. Dr. rer. nat. Daniel Schondelmaier (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)

Projekttyp:

WHZ-Forschungsprojekt

Kontakt:

Prof. Dr. rer. nat. Daniel Schondelmaier

+49 (375) 536 1514
daniel.schondelmaierwhzde

Kooperationspartner:

Allresist GmbH Strausberg

Fördermittelgeber:

BMWE

Förderprogramm:

ZIM

Förderkennzeichen:

KK6071901SC5

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Anhang

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