EFFSIL300 - Effiziente und sichere Leistungstransistoren auf Basis von 300 mm Wafern
Holographische Lithographie und optische Messtechnik
04/2017 - 09/2020
Prof. Dr. Peter Hartmann (Fakultät Physikalische Technik/Informatik)
WHZ-Forschungsprojekt
Prof. Dr. Peter Hartmann
+49 (375) 536 1538
peter.hartmannfh-zwickaude
EU + SMWA